霍尼韦尔气流传感器参数功能
霍尼韦尔 Zephyr? HAF 系列传感器为的满量程流量范围及温度补偿范围内读取气流数据提供一个数字界面。隔热加热器和温度感应元件可帮助传感器对空气流或其他气流做出快速响应。
Zephyr 传感器旨在测量空气和其他无腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围可在 ±50、±100、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用。还提供自定义流量范围。这些传感器利用电路板上的集成电路 (ASIC) 进行全面的校准和温度补偿。

HAF 系列可以对 0°C 至 50°C  的温度范围做出补偿，并且可以在 -20°C 至 70°C  的温度范围中工作。*基于 ASIC 的补偿能够实现数字 (I2C) 输出和 1 毫秒的响应时间。

这些传感器根据热传递原理测量气流的质量流量。它们由含有热电阻微桥的微机电传感系统 (MEMS) 组成，薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。MEMS 传感芯片位于精密设计的气流通道内，提供对于流量的可重复响应。

Zephyr 传感器可以为客户提供增强的可靠性、高准确度、可重复测量等性能，并且能够定制传感器以满足许多具体的应用要求。坚固外壳和稳定基底相结合使得这些产品极其坚固耐用。它们的设计与制造符合 ISO 9001 标准。

气流传感器
所有气体质量流量传感器均在热交换时工作——流动和压力差。硅芯片设计源自薄膜、隔热桥结构，包含加热和热敏组件。这可以对空气或气体流量和方向作出快速响应，提供相应的输出电压。放大型能提供更强的输出信号和更少的外部电路，而未放大型可选择更多的外部电路。

霍尼韦尔提供：
*芯片设计、制造工艺和微结构技术
加快响应时间并实现更低的功耗
多种端口类型，提供更高的应用灵活性
信号调节放大、补偿放大、补偿
技术具有绝热加热器的硅片具有绝热加热器的硅片

流量/压力范围0 SCCM 至 ±50 SCCM
0 SCCM 至 ±100 SCCM
0 SCCM 至 ±200 SCCM
0 SCCM 至 ±400 SCCM
0 SCCM 至 ±750 SCCM0 SLPM 至 10 SLPM
0 SLPM 至 15 SLPM
0 SLPM 至 20 SLPM
0 SLPM 至 50 SLPM
0 SLPM 至 100 SLPM
0 SLPM 至 200 SLPM
0 SLPM 至 300 SLPM

总误差带低至 ±0.25 %FSS10 SLPM 至 200 SLPM：4.0% 读数
300 SLPM:7.0% 读数
输出模拟 (Vdc)，数字（I2C）数字（I2C）
功耗3.3 Vdc：典型值：40 mW（无负载）（模拟）
典型值：23 mW（无负载）（数字）
5.0 Vdc：典型值：55 mW（无负载）（模拟）
典型值：38 mW（无负载）（数字）3 Vdc：zui大 60 mW
10 Vdc：zui大 200 mW
端口类型长接口紧固件安装
短接口紧固件安装
短接口卡扣式安装 歧管安装
22 mm OD 锥形螺头
G 3/8 母螺纹接头
支持的介质无腐蚀性干燥气体无腐蚀性干燥气体
补偿温度范围0°C 至 50°C
0°C 至 50°C

工作温度范围 -20°C 至 70°C
 -20°C 至 70°C

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